第九十四章 光刻机比想象的容易

    光刻机很难。

    真的非常非常难。

    难度系数是氢弹的十倍。

    哪怕倾举国之力也不可能在短期内拿得下。

    以上这些，是经常充斥在卫明耳边的话，听得他几乎耳朵长茧。

    真的有那么难么？

    这些天，亲自进入研发工厂，了解透了光刻机的工作原理，在“老板工作间”内，利用体内的小黑，轻松打磨出几十个合格的高精密零件，以及20块的“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片，由四十层玻璃叠加而成，表面凸起都不得超过1纳米。

    “很简单嘛，好像没什么难的。”

    看着面前成批成批的精度完全合格的零件，卫明撇了撇嘴说道。

    “到底难在了什么地方？”

    “光源发生器非常难。”

    蒲伟才说道：“要制造出波长13.5纳米的极紫外光，必须要用193纳米波长的深紫外光，击打自由落体的金属锡滴，并且要在极短的时间内，连续击中锡滴两次，每秒重复5万次，才能产生足够强度的极紫外光。”

    要知道金属锡滴的直径只有二十微米。

    自由落体过程中，不仅要被激光击中，由水滴状摊平成圆饼状，再进行第二次击打，才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程，完全是动态中发生的，如同用绣花针击中苍蝇，而且要连续击中两次。

    并在一秒内，重复五万次这套操作。

    “你不是说已经解决光源问题了么？而且能源利用率达到了5%？”卫明不解的道。

    “光源是解决了，是因为我们用的击打光源，是特殊晶体击发出的132纳米光，能量利用率肯定比193纳米光高的多，但要想制造强度足够的13.5纳米波长的极紫外光，还是得通过击打锡滴的方式达到，这是唯一可行的路径。”

    “也就是说，你们只搞定了击打光源，然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧？”

    卫明眉头皱了起来。

    “卫总，不是我们爱搞虚假宣传，可是长期的科学研究，如果没有点成果的话，谁会关注我们，上面怎么给我们拨款？所以哪怕只是部分突破，也得重点宣传一番。”

    一旁的向广林解释说道。

    “我们正在攻克的最后一项技术难题，就是锡滴的击打频率问题。”

    蒲伟才也道：“我们已经解决了连续击打问题，但每秒最多重复5000次，不过我们的能量利用率更高，只需做到每秒重复2万次，就有足够使用的光照强度了。”

    “所以我们的能量利用率不是没有意义，每秒2万次比每秒5万次，明显容易实现多了。”

    “每秒2万次……”

    卫明沉吟了一下，道：“还缺什么条件，阻止你们达到这个频率？”

    “精度，控制系统的精度。”

    蒲伟才说道：“如同一个时钟，同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落，以及4万次的击打，时间上，每秒内的误差，不得超过十亿分之一秒；距离上，每秒不能超过1纳米，并且还要设计一套‘偏差纠正’系统，只要误差累积过大，就会自动纠正，让系统长期稳定的运转下去。”

    “目前我们正在全力攻克控制系统，纠偏系统稍稍靠后，但也安排了团队进行攻关。”

    “当然如果从岛国进口的相关零件，很快能到我们手中，可能三个月内，我们就能实现击打频率突破2万次。”

    岛国？

    三个月？

    卫明摇头笑了笑，道：“缺什么零件，就交给我吧，我给你们捣鼓出来。”

    接着他连续捣鼓了三天时间。

    激光频率控制器。

    高灵敏距离感应器。

    还有这个什么器，那个什么装置，以及卫明叫不出专业名称的东西。

    三天内他一共搞了十几个。

    然后让蒲伟才他们，把这些装置，塞入到控制系统中，以极高精度要求，组装到了一起。

    再开启了试运行。

    “释放锡滴，初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。

    “开始释放。”

    “两次击打成功，摊平形状完美，激发效果完美！”
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